测试晶圆 · 微纳加工 · 检测配套面向企业、高校与科研机构
Test Wafer · Micro/Nano Fabrication

测试晶圆与
微纳加工定制

为设备研发、材料评价和工艺验证提供样品。围绕衬底、膜层、图形、加工与检测,提供从技术规格确认到项目交付的一站式配套。

✓ 支持小批量研发试制✓ 支持客户来料评估✓ 日本合作加工资源
300 mm Nano Pattern支持 L/S、孔阵列等结构评估
Micro/Nano Process光刻 · 成膜 · 刻蚀 · 键合
MetrologySEM · AFM · TEM · FIB
100–300 mm可咨询晶圆尺寸
24+工艺与检测模块
nm–μm图形结构覆盖范围
R&D面向研发、验证与试制
Project Workflow

从规格确认到样品交付

围绕实验目标,将材料、膜层、图形尺寸、加工数量与验收要求转化为明确的技术文件。

01

规格与报价

明确加工范围、材料条件、验收指标、交付内容及费用。

02

加工与检测

按确认方案组织加工,并完成约定的检测与数据整理。

03

样品交付与反馈

交付样品及约定资料,根据实验反馈继续支持工艺迭代。

Application

面向多类研发与验证场景

半导体设备研发

为成膜、刻蚀、清洗、抛光及检测设备提供带膜和图形样品,用于工艺开发与对比评价。

半导体材料评价

围绕膜层材料、厚度和表面结构制作样品,支持加工适用性与材料特性研究。

MEMS 与传感器

面向微流道、孔槽、膜结构和微细电极等需求,组织结构试制与工艺验证。

光电子与微纳结构

支持精细图形、周期阵列和功能薄膜样品的定制,服务于结构设计与实验验证。

功率器件研发

围绕 SiC 及相关材料,提供外延、刻蚀、掺杂、热处理和检测等工艺配套。

先进封装与集成

围绕键合、互连、转接板及芯粒集成需求,开展单项工艺与组合方案评估。

有明确图纸,或只有实验目标,都可以开始沟通

提交材料、尺寸、膜层、图形、数量、检测要求与期望交期,我们将据此开展技术评估。

提交项目需求 →